反渗透水净化设备（膜分离技术）技术性的运用使反渗透超纯水设备从传统式的阳离子交换器、渗碳、阴离子交换器、复合型离子交换器获得了一次发展。

近些年逐渐国外应用推广的EDI（电去离子）技术性，则是超纯水系统生产技术的一次改革，此后进入了一个不用再造化工品，而能生产制造出达到18MΩ·CM的超纯水系统，用以半导体材料、集成电路芯片等领域。反渗透超纯水设备是选用专用型RO技术性设计方案，核心部件、机器设备选用進口知名商标，加工工艺优秀，品质靠谱，扩展性强，构造合理占地面积小，水使用率高，耗能低，全自动化技术运作，实际操作维护保养简易。一般产水量低限0.25m3/hr，限制不限，水利用率一般可以达到75%之上，除盐率＞98%。产水率随渗水溫度降低和反渗透膜脆化或受环境污染有一定转变。

反渗透超纯水设备典型性生产流程为：

1:预备处理－反渗透－提纯水箱－离子交换器－紫外线杀菌灯-纯水泵－用水点

2:预备处理－一级反渗透－二级反渗透（正电反渗膜）－提纯水箱－纯水泵-紫外线杀菌灯－用水点

3:预备处理－反渗透－正中间水箱－正中间水泵－EDI设备－提纯水箱－纯水泵-紫外线杀菌灯－用水点

4:预备处理→紫外线消毒设备→一级RO设备→二级RO设备→正中间水箱→EDI设备→脱氨设备→氮封纯水箱→除TOCUV设备→打磨抛光阳离子树脂→超滤装置→用水点

水体合乎美国ASTM规范，电子部超纯水系统水质检测标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级）